隨著電子行業向微型化、高集成化方向發展（如5G芯片、柔性PCB板），元器件表面的污染物（如焊接殘留的助焊劑、制程中的金屬離子、環境微顆粒）對其性能的影響愈發顯著。。因此，電子元器件清洗已成為電子制造流程中的關鍵環節，而超純水的水質純度是決定清洗效果的核心因素。

一、實驗部分

（一）實驗材料與設備

1、實驗樣品：剛性PCB板；芯片封裝件。

2、核心設備：博清生物超純水機；超聲清洗機；電阻率儀；總有機碳（TOC）分析儀；離子色譜儀；光學顯微鏡；高精度萬用表。

（二）實驗方法

1、超純水水質檢測

啟動博清生物超純水機，穩定運行30min后，按以下指標檢測產水水質，連續檢測24h，每1h 記錄1次數據：

電阻率（25℃，采用電阻率儀直接測定）；

TOC（采用TOC分析儀測定）；

微粒含量（0.2μm，取100mL超純水，通過光學顯微鏡計數）；

離子含量（Cl?、SO?2?，采用離子色譜儀測定）。

2、電子元器件清洗流程

預處理：用壓縮空氣（0.3MPa）吹掃元器件表面，去除直徑＞10μm的大顆粒污染物；

超聲清洗：將元器件放入博清超純水中，啟動超聲清洗機（溫度40℃，時間10min）；

漂洗：更換新鮮博清超純水，再次超聲漂洗5min，去除殘留污染物；

烘干：將元器件放入真空干燥箱（溫度60℃，真空度-0.09MPa），烘干30min。

3、清洗效果評價指標

外觀清潔度：通過光學顯微鏡觀察清洗后元器件表面，記錄是否存在可見污染物（微粒、污漬）；

污染物殘留量：

離子殘留：取清洗后元器件，用10mL博清超純水浸泡30min，測定浸泡液中Cl?、SO?2?含量；

有機殘留：通過TOC分析儀測定浸泡液中TOC含量，計算有機殘留物去除率；

電性能：采用高精度萬用表測定PCB板導通電阻（選取5個測試點，取平均值），記錄清洗前后電阻波動幅度；

長期穩定性：將清洗后的元器件置于恒溫恒濕箱（溫度40℃，濕度85%）中老化720h，統計故障率。

二、結果與分析

（一）博清生物超純水機產水水質

博清生物超純水機連續24h產水水質檢測結果顯示，設備產水電阻率穩定維持在 18.25MΩ?cm，波動幅度僅±0.05MΩ?cm，遠低于傳統超純水機（波動±0.5MΩ?cm）。該水質完全符合電子級水要求，說明博清生物超純水機的五級純化工藝可實現穩定的高純度產水，為電子元器件清洗提供優質介質。

（二）電子元器件清洗效果

1、外觀清潔度

光學顯微鏡觀察結果顯示：清洗前，PCB板表面存在明顯的助焊劑殘留（淡黃色污漬）及直徑2~5μm的微顆粒；芯片封裝件表面有不規則有機附著物。清洗后，兩類元器件表面均無可見污漬及微顆粒，表面平整度顯著提升，說明博清超純水可有效去除元器件表面的宏觀污染物。

2、污染物殘留量

污染物殘留檢測結果顯示。清洗前，PCB板表面Cl?、SO?2?殘留量分別為45ppb、38ppb，TOC殘留量為85ppb；芯片封裝件表面Cl?、SO?2?殘留量分別為32ppb、25ppb，TOC殘留量為62ppb。清洗后，兩類元器件表面的Cl?、SO?2?殘留量均＜1ppb，TOC殘留量＜3ppb，有機殘留物去除率＞99%。這一結果表明，博清超純水中極低的離子和有機物含量可避免清洗過程中的“二次污染”，同時其高純度特性可增強對污染物的溶解與剝離能力，實現深度除污。

3、電性能

PCB板導通電阻測試結果顯示：清洗前，5個測試點的導通電阻平均值為12.5Ω，波動幅度為±2.3Ω；清洗后，導通電阻平均值降至8.2 Ω，波動幅度縮小至±0.5Ω。電阻降低且波動減小的原因是：超純水去除了表面氧化層及離子污染物，降低了電流傳輸阻力，同時減少了接觸電阻的不均勻性。這一結果證實，博清超純水清洗可顯著提升電子元器件的電性能穩定性。

4、長期穩定性

老化測試結果顯示：經博清超純水清洗的元器件，720h老化后的故障率為3%（1/30）；而采用傳統純水清洗的對照組，故障率為18.3%（5/30）。故障率降低62%的原因是：博清超純水徹底去除了腐蝕性離子（如Cl?）和有機污染物，避免了長期使用中的電化學腐蝕及散熱不良問題，延長了元器件的使用壽命。

三、討論

博清生物超純水機在電子元器件清洗中的優異表現，主要源于其優化的純化工藝設計：

（一）RO+EDI組合工藝：RO膜可去除99%以上的離子和大分子有機物，EDI技術則通過電場作用實現離子的深度去除，使產水電阻率穩定達到18.2MΩ?cm，避免了傳統離子交換樹脂需頻繁再生的問題，降低維護成本；

（二）雙波長UV氧化：185nmUV可產生羥基自由基，氧化分解水中的TOC，254 nmUV則可殺滅微生物，防止微生物黏附在元器件表面形成生物膜；

（三）終端微濾：0.1μm濾膜可截留水中的微小顆粒，避免顆粒劃傷元器件表面或堵塞芯片引腳。

與傳統超純水設備相比，博清生物超純水機還具有以下優勢：

（一）能耗低：采用節能RO泵，比傳統設備能耗降低15%，符合電子行業綠色制造的發展趨勢；

（二）智能化：配備觸摸屏控制系統，可實時監控產水水質、流量及耗材壽命，便于遠程運維；

（三）適應性強：可根據不同元器件的清洗需求，調整產水流量（5~10L/h）及水溫（25~40℃），提升清洗工藝的靈活性。

本研究通過實驗驗證了博清生物科技（南京）有限公司研發的超純水機在電子元器件清洗中的應用效果，得出以下結論：

（一）博清生物科技（南京）有限公司研發的超純水機產水水質符合GB/T 11446.1-2013 E1級標準，電阻率穩定 18.25MΩ?cm，微粒及離子含量極低，可提供穩定的高純度清洗介質；

（二）經該超純水清洗的電子元器件，表面污染物去除率＞99%，導通電阻波動幅度降低至±0.5 Ω，長期故障率降低62%，顯著提升了元器件的清潔度、電性能及可靠性；

（三）博清生物科技（南京）有限公司研發的超純水機的五級純化工藝、低能耗及智能化設計，使其適用于電子行業高精度元器件的清洗需求，為電子制造流程的質量提升提供了關鍵支撐。

未來可進一步探究博清生物科技（南京）有限公司研發的超純水機在更精密元器件（如量子芯片、柔性電子）清洗中的應用，并結合清洗工藝參數（如超聲功率、清洗時間）的優化，進一步提升清洗效率與效果。